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srs CIS200 鎖相放大器 With better than 1 ppm detection limit, direct sampling at mTorr pressure, and a user-friendly Windows software package, the CIS systems will satisfy your most demanding applications.

srs PPR300 鎖相放大器 PPR過程監(jiān)測系統(tǒng)設(shè)計用于在線過程監(jiān)測和診斷。殘余氣體分析儀 （RGA） 提供兩條路徑：一條用于監(jiān)測基礎(chǔ)真空的高電導(dǎo)率路徑，以及一條用于在工作壓力下監(jiān)測過程的減壓路徑。PPR 真空過程監(jiān)測系統(tǒng)0.01、0.1、1.0 或 10 Torr 入口壓力3 × 10-5 Torr-L/s 流速2 秒響應(yīng)時間 （0.1 Torr）100、200 或 300 AMU 系統(tǒng)6

srs UGAPM300 氣體分析儀 UGAPM系列過程監(jiān)測系統(tǒng)是設(shè)計用于分析過程氣體的現(xiàn)代質(zhì)譜儀。入口以低流速（約 5x10-5 mbar L/sec）連續(xù)采樣氣體，使該儀器成為在線分析的理想選擇。UGAPM 系列過程監(jiān)測儀運行范圍為 1 mTorr 至 20 Torr100、200 和 300 amu 系統(tǒng)1.5 秒響應(yīng)時間 （0.1 Torr）多點分析多范圍應(yīng)用幾乎零死體積系統(tǒng)烘烤

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srs UGAPM100 氣體分析儀 UGAPM系列過程監(jiān)測系統(tǒng)是設(shè)計用于分析過程氣體的現(xiàn)代質(zhì)譜儀。入口以低流速（約 5x10-5 mbar L/sec）連續(xù)采樣氣體，使該儀器成為在線分析的理想選擇。UGAPM 系列過程監(jiān)測儀運行范圍為 1 mTorr 至 20 Torr100、200 和 300 amu 系統(tǒng)1.5 秒響應(yīng)時間 （0.1 Torr）

srs QMS300 氣體分析儀 QMS系列氣體分析儀為各種應(yīng)用提供了高效、經(jīng)濟的解決方案。這些質(zhì)譜儀簡化了在線過程監(jiān)測、氣體種類分析、泄漏檢測和故障排除的任務(wù)。QMS系統(tǒng)可以以每分鐘幾毫升的流速連續(xù)采樣氣體。

srs QMS200 氣體分析儀 QMS系列氣體分析儀為各種應(yīng)用提供了高效、經(jīng)濟的解決方案。這些質(zhì)譜儀簡化了在線過程監(jiān)測、氣體種類分析、泄漏檢測和故障排除的任務(wù)。QMS系統(tǒng)可以以每分鐘幾毫升的流速連續(xù)采樣氣體。進(jìn)樣口可在 1 bar 至 10 mbar 的壓力下進(jìn)行采樣。數(shù)據(jù)是連續(xù)采集的，而不是氣相色譜儀采用的批量取樣。

srs QMS100 氣體分析儀 QMS系列氣體分析儀為各種應(yīng)用提供了高效、經(jīng)濟的解決方案。這些質(zhì)譜儀簡化了在線過程監(jiān)測、氣體種類分析、泄漏檢測和故障排除的任務(wù)。QMS系統(tǒng)可以以每分鐘幾毫升的流速連續(xù)采樣氣體。進(jìn)樣口可在 1 bar 至 10 mbar 的壓力下進(jìn)行采樣。數(shù)據(jù)是連續(xù)采集的，而不是氣相色譜儀采用的批量取樣。