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srs PPR100 測試系統(tǒng) PR過程監(jiān)測系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于在線過程監(jiān)測和診斷。殘余氣體分析儀 （RGA） 提供兩條路徑：一條用于監(jiān)測基礎(chǔ)真空的高電導(dǎo)率路徑，以及一條用于在工作壓力下監(jiān)測過程的減壓路徑。PPR 真空過程監(jiān)測系統(tǒng)0.01、0.1、1.0 或 10 Torr 入口壓力3 × 10-5 Torr-L/s 流速2 秒響應(yīng)時(shí)間 （0.1 Torr）100、200 或 300 AMU 系統(tǒng)6 數(shù)量